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產(chǎn)品
產(chǎn)品分類
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產(chǎn)品詳情
參數(shù)
一、應(yīng)用領(lǐng)域：
該設(shè)備可沉積金屬、合金、及多種介質(zhì)膜，可進(jìn)行反應(yīng)濺射；用于硬質(zhì)膜，裝飾膜及其它功能膜的研究開發(fā)。
二、性能參數(shù)：
1. Φ500x500立式水冷腔體，
2. 配DN100多弧靶3只，4″平面圓靶1只；
3. 平面靶配1000w射頻電源；系統(tǒng)可加偏壓，偏壓電源為脈沖直流，功率2000W；
4. 最高工藝加熱溫度500℃，
5. 樣品架公自轉(zhuǎn)，公轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速0-50rpm可調(diào)；
6. 系統(tǒng)配4路MFC工藝氣體。
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熱蒸發(fā)、磁控濺射鍍膜機(jī)
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